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原装E+H音叉料位计//E+H固体音叉开关

型号:FTI51-2AA1GEJ45A1A

产品时间:2017-08-13

访问次数:426

简要描述:

原装E+H音叉料位计//E+H固体音叉开关FTI51-2AA1GEJ45A1A

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原装E+H音叉料位计//E+H固体音叉开关FTI51-2AA1GEJ45A1A随着微纳制造技术飞速发展,对与之相关的微纳检测技术提出了 更高要求,体现在测量范围、测量精度和测量速度等方面。原子力显微术(AFM)是微纳检测技术中的一项重要方法,可以实现微结构器件的表面形貌检测,分辨 力能达到纳米级。测头与大范围高精度定位平台相结合实现毫米级测量范围和纳米级分辨力的动态AFM是近年来AFM发展的一大热点。本文在充分调研动态 AFM研究现状和发展趋势的基础上,将自感应音叉测头与大范围纳米定位平台(NMM)相结合,构建了一套可以在多种工作模式下使用的动态AFM测量系统。 论文主要完成的工作包含以下几个方面:1.从音叉探针的结构特点入手解释其工作原理。建立音叉探针的力学模型,得到了探针的两个谐振频率并讨论了音叉探针 工作频率的选择问题。构建音叉探针的电学模型,分析了内部寄生电容对音叉探针的影响。介绍了动态AFM三种工作模式的原理并讨论了不同工作模式的特点。 E+H FTI51-2AA1GEJ45A1A L=200MM
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